面向多行业洁净工厂的FFU风机方案
覆盖半导体晶圆、液晶面板、锂电、生物医药及精密制造五类应用,关注不同工艺的空气输送需求:
* 半导体晶圆:高洁净等级、高阻力与全天候连续送风。
* 液晶面板:大面积FFU布局与多风机群控。
* 锂电制造:除湿、洁净与腐蚀环境适配。
* 生物医药:洁净环境下的温湿度与压差管控。
* 精密制造:低振动、低电磁干扰。
洁净室的风,不能有半点将就
不同工艺,对洁净空气同样严格。高换气次数、稳定压差、精准温湿度控制,以及始终如一的空气品质,都离不开FFU的可靠运行,也关系着生产良率与产线连续运行。
同时,FFU能耗通常占洁净室整体能耗的30%以上。在双碳目标与旧线改造的双重需求下,风机既要应对严苛工况,也要以更高能效降低全生命周期成本。